珠海激光位移传感器品牌企业

通过将反光元件设置在成像物镜与感光元件之间，能够减小激光位移传感器的设备体积，便于激光位移传感器的使用和安装；通过采用线阵感光元件，能够降低激光位移传感器的成本；另外，由于线阵感光元件的多个感光单元沿着直线排列，所以在该直线的延伸方向上的MTF值拉高而将与该直线垂直方向上的MTF值降低，并不会影响测量精度，还能够让光斑更加容易地被线阵感光元件所接收；通过采用带通滤光片，能够滤除或降低杂散光，避免激光位移传感器收到干扰，保证测量的准确度。它还可以用于测量材料的膨胀和收缩，以研究其热学性质。珠海激光位移传感器品牌企业

根据本发明实施例的激光位移传感器主要包括激光器(例如，可以是CN1 06855391B5激光二极管)1、聚焦透镜2、窗口玻璃3、带通滤光片5、成像物镜(也可称为接收物镜)6、感光元件7以及反光元件8。其中，该激光位移传感器用于对被测物体4进行测量。在图1所示的结构中，省略了激光位移传感器的外壳。实际上，上述窗口玻璃3可以设置在激光位移传感器的外壳上，供激光器所发出的光通过。激光位移传感器的工作过程如下：由激光二极管1发射的激光束通过聚焦透镜2聚焦、窗口玻璃3滤光后，照射在被测物体4的表面形成一个测量光斑，激光束可以垂直入射到被测物体4表面(即垂直入射)，也可与被测物体4表面成一定的角度(即斜入射)。该测量光斑由成像物镜6成像，并在感光元件7形成测量信号。青浦区激光位移传感器厂家直销价格激光位移传感器可以实现微米级的位移测量。

随着科学技术的迅猛发展，具有非接触、高精度、稳定性好、可自动化及易于与计算机相结合等特点的激光位移检测技术在自动检测、机器人视觉、计算机辅助设计与制造等领域得到了广泛的应用，已将逐渐取代传统的接触式检测技术，成为现代检测技术很重要的手段和方法。非接触式激光平面检测系统主要利用激光位移传感器与平台运动控制系统来检测对象物平面平整度。位移传感器用来测量目标物体的距离，按与对象物的接触类型它分为两类：主要有使用差动电压等形式的接触式与使用磁场、超声波、激光等形式的非接触式。由于非接触式激光位移传感器具有高精度表面扫描的特点，系统选择基恩士公司的LT一9001Series型激光位移传感器，该激光位移传感器可以对任何对象物进行高精密度的位移测定，例如可以对微细工件、粗面工件的高度进行测定，还可以测量电路板上的焊锡以及测定透明体的表面和厚度。平台运动控制系统选择丹纳赫公司的ULTIMAC—G型控制器和二维电动平移台。云南丽江天文工作站2.4mm天文望远镜终端的拼接CCD相机为了得到更清晰的天体图像，将采用该非接触式激光平面检测系统，对拼接CCD相机平面平整度进行检测。

通过将空间频率为62.5lp/mm时的MTF解析结果保持在MTFS＞MTFT×10或MTFT＞MTFS×10，尤其是让解析结果满足：MTFS≥0.5且MTFT＜0.05、或者MTFT≥0.5且MTFS＜0.05，能够让光斑在感光元件的感光单元的主要排列方向上的延伸更加明显，进一步降低成像物镜的设计难度、以及制造和维护成本；对于弧矢方向和子午方向MTF值差距不大的成像物镜，通过在成像物镜前和/或在成像物镜后加入能够引入像散的光学元器件(如平板玻璃等)，配合微调成像物镜与所述感光元件之间的相对距离来使得成像物镜和感光元件所组成整体的MTF值满足上述要求，能够很容易地让光斑被拉长，更加容易被感光元件所接收；这种传感器可以用于测量物体的表面粗糙度，以评估其质量。

本发明公开了一种激光位移传感器，包括激光器、成像物镜以及感光元件，激光器用于射出激光束，由成像物镜接收并出射的光入射到感光元件，在对成像物镜和感光元件进行调制传递函数MTF解析时，解析结果满足以下条件：在感光元件的多个感光单元的主要排列方向为弧矢方向的情况下，MTFS＞MTFT；在感光元件的多个感光单元的主要排列方向为子午方向的情况下，MTFT＞MTFS；其中，MTFS为弧矢方向上的MTF值，MTFT为子午方向上的MTF值。本发明能够降低物镜的设计难度，节省制造和维护成本，另外还有助于提高测量的准确度，能够更好地应对使用中因为振动或机械变形等随带来的不良影响。非接触式位移传感器的出现推动了现有技术的适应，以满足新的测量要求并提高测量的准确性和分辨率。静安区激光位移传感器工厂

它可以用于测量建筑结构的变形和振动。珠海激光位移传感器品牌企业

激光位移传感器的测量精度容易受到被测物体表面特征的影响，为了减小测量误差，在整形镜设计中应尽量使出射光斑在有效的测量范围内实现光斑小且均匀。针对传感头小型化设计的要求，半导体激光器体积小、重量轻的优点正好符合这一要求，但其光束质量并不理想，需要对其进行光束整形。半导体激光器快慢轴的光束分布极不对称:快轴发散角较大，半角的典型值为30～40°，光束呈高斯分布，发光范围的半宽度为0.6～0.8μm，慢轴发散角的半角典型值为3～6°，光束分布不规则，发光范围半宽度为50～100μm。因此，在不允许能量损失的情况下，要求整形系统的物方数值孔径(NA)>0.573；但由于光束的快轴能量呈高斯分布，通常取半宽度(FWHM)为20°，此时NA=0.342。系统物距应尽量小一些，但考虑到工艺问题，不宜过小，选定为2.5mm。为了便于设计，将系统倒置，整个系统的主要要求为:工作波长为785±10nm，像方NA=0.342，像距l′=2.5mm，物距l=40～60mm，焦距f=3～4mm。珠海激光位移传感器品牌企业